FIB双束扫描电镜
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- 更新日期：2021-06-03
- 产品介绍：Helios 5 DualBeam FIB双束扫描电镜经过精心设计，可满足材料科学研究人员和工程师对广泛的 FIB-SEM 使用需求，即使是具挑战性的样品。
- 厂商性质：代理商
产品介绍
| 品牌 | FEI/赛默飞 | 应用领域 | 电子 |
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Helios 5 DualBeam FIB双束扫描电镜经过精心设计，可满足材料科学研究人员和工程师对广泛的 FIB-SEM 使用需求，即使是具挑战性的样品。
Helios 5 DualBeam FIB双束扫描电镜重新定义了高分辨率成像的标准：高材料对比度，快、简单、准确的高质量样品制备，用于 S/TEM 成像和原子探针断层扫描（APT）以及高质量的亚表面和 3D 表征。在 Helios DualBeam 系列久经考验的性能基础上，新一代的 Helios 5 DualBeam 进行了改进优化，所有这些都旨在确保系统处于手动或自动工作流程的运行状态。
半导体行业技术参数：
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| Helios 5 CX | Helios 5 HP | Helios 5 UX | Helios 5 HX | Helios 5 FX | |
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| 样品制备与XHR扫描电镜成像 | 终样品制备(TEM薄片，APT) | STEM亚纳米成像与样品制备 | |||
| SEM | 着陆电压 | 20ev-30kev | 20ev-30kev | |||
| 分辨率 | 0.6nm@15kev 1.0nm@1kev | 0.6nm@2kev 0.7nm@1kev 1.0nm@500ev | ||||
| STEM | 分辨率@30kev | 0.7nm | 0.6nm | 0.3nm | ||
| FIB制备过程 | 大材料去除束流 | 65nA | 100nA | 65nA | ||
| 终抛光电压 | 2kv | 500v | ||||
| TEM样品制备 | 样品厚度 | 50nm | 15nm | 7nm | ||
| 自动化 | 否 | 是 | 是 | |||
| 样品处理 | 行程 | 110×110×65mm | 110×110×65mm | 150×150×10mm | 100×100×20mm | 100×100×20mm+5轴（S）TEMCompustage |
| 负载锁 | 手动 | 自动 | 手动 | 自动 | 自动+自动插入/提取STEM杆 | |
材料科学行业技术参数：
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| Helios 5 CX | Helios 5 UX |
| 离子光学 |
| 具有优越的高电流性能的Tomahawk HT 离子镜筒 | 具有优越的大电流和低电压性能的Phoenix离子镜筒 |
| 离子束电流范围 | 1 pA – 100 nA | 1 pA – 65 nA | |
| 加速电圧 | 500 V – 30 kV | 500 V – 30 kV | |
| 大水平视场宽度 | 在光束重合点时为0.9 mm | 在光束重合点时为0.7 mm | |
| 离子源寿命 | 1,000 hours | 1,000 hours | |
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| 两级差动泵 | 两级差动泵 | |
| 飞行时间矫正 | 飞行时间矫正 | ||
| 15孔光阑 | 15孔光阑 | ||
| 电子光学 | Elstar超高分辨率场发射镜筒 | Elstar超高分辨率场发射镜筒 | |
| 磁浸没物镜 | 磁浸没物镜 | ||
| 高稳定性肖特基场发射枪提供稳定的高分辨率分析电流 | 高稳定性肖特基场发射枪提供稳定的高分辨率分析电流 | ||
| 电子束分辨率 | 工作距离下 | 0.6 nm at 30 kV STEM | 0.6 nm at 30 kV STEM |
| 0.6 nm at 15 kV | 0.7 nm at 1 kV | ||
| 1.0 nm at 1 kV | 1.0 nm at 500 V (ICD) | ||
| 0.9 nm at 1 kV 减速模式* |
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| 在束流重合点 | 0.6 nm at 15 kV | 0.6 nm at 15 kV | |
| 1.5 nm at 1 kV 减速模式* and DBS* | 1.2 nm at 1 kV | ||
| 电子束参数 | 电子束流范围 | 0.8 pA to 176 nA | 0.8 pA to 100 nA |
| 加速电压范围 | 200 V – 30 kV | 350 V – 30 kV | |
| 着陆电压 | 20 eV – 30 keV | 20 eV – 30 keV | |
| 大水平视场宽度 | 2.3 mm at 4 mm WD | 2.3 mm at 4 mm WD | |
| 探测器 | Elstar 镜筒内 SE/BSE 探测器 (TLD-SE, TLD-BSE) | ||
| Elstar i镜筒内SE/BSE 探测器 (ICD)* | |||
| Elstar 镜筒内 BSE 探测器 (MD)* | |||
| 样品室内Everhart-Thornley SE 探测器 (ETD) | |||
| 红外相机 | |||
| 高性能离子转换和电子探测器(SE)* | |||
| 样品室内样品导航彩色光学相机Nav-Cam Camera* | |||
| 可伸缩式低电压、高衬度、分割式固态背散射探测器(DBS)* | |||
| 可伸缩STEM 3+ 探测器* | |||
| 电子束流测量 | |||
| 样品台和样品 | 样品台 | 灵活五轴电动 | 压电驱动XYR轴的高精度五轴电动工作台 |
| XY | 110 mm | 150 mm | |
| Z | 65 mm | 10 mm | |
| R | 360° (连续) | 360° (连续) | |
| 倾斜 | -15° to +90° | -10° to +60° | |
| 大样品高度 | 与优中心点间隔85mm | 与优中心点间隔55mm | |
| 大样品质量 | 样品台任意位置500 g | 样品台任意位置500 g | |
| 0° 倾斜时大5kg | |||
| 大样品尺寸 | 直径110 mm可沿样品台旋转时 | 直径150 mm可沿样品台旋转时 | |
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| 优中心旋转和倾斜 | 优中心旋转和倾斜 | |
