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高性能场发射扫描电镜的日常维护与保养介绍

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  高性能场发射扫描电镜具有超高分辨率,具有高性能X射线能谱仪,能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析,具有形貌、化学组分综合分析能力,能做各种固态样品表面形貌的二次电子象、反射电子象观察及图像处理。
 
  高性能场发射扫描电镜的日常维护与保养:
 
  1、保持仪器操作平台干净整洁,不要靠在上面,不要将重物放在冰水器和其他设备上。
 
  2、启动机器时,必须先打开水冷系统,并检查冷却水的温度。关闭机器至少15分钟后,可以关闭冷却水。
 
  3、进样时,检查Z轴和T轴的位置。缓慢关闭样品室,确保样品室门*关闭,然后单击EVAC按钮抽气。
 
  4、移动样品。将阶段驱动器移动到X和Y轴以移动样本,并确保其小于最大允许值。
 
  5、将样品倾斜-10°~+45°,小心不要损坏探针。倾斜角度应根据样品台和样品条件选择。注意,样品可以倾斜的最大安全角度必须小于允许值,以防止样品撞击物镜极靴。
 
  6、使用BSE探头时,不要倾斜样本台。
 
  7、只有在关闭加速电压的情况下才能取出样品,不进行样品扫描时应关闭高压。
 
  8、排气时必须关闭HT,120秒后必须轻轻打开样品交换室的门。
 
  9、更换钨丝时,等待两分钟,然后打开电子枪,用专用工具取出钨丝和钨丝罩,以免烫伤。
 
  10、菠菜靠谱老平台十大正规需要手动调节的部件主要包括光圈、像散和调节工作距离的旋钮。
 
  11、每周添加两到三次液氮,间隔不超过四天。

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